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一、玻璃基板：先进封装的刷新 ，，，，，，，，沉新界说基板
（一）英特尔持续加码玻璃基板 ，，，，，，，，高举封装工艺刷新旗号
英特尔一向是玻璃基板领域的索求引领者。。 。。。凭据三叠纪官网 ，，，，，，，，早在十年前英特尔就起头寻找有机基板的代替品 ，，，，，，，，并在亚利桑那州的CH8工厂投资十亿美元试出产玻璃基板。。 。。。作为封装基板领域的索求引领者 ，，，，，，，，2023年9月英特尔展示了一款职能齐全的基于玻璃基板的测试芯片 ，，，，，，，，并打算于2030年起头批量出产 ，，，，，，，，该芯片使用75微米的玻璃通孔 ，，，，，，，，深宽比为20:1 ，，，，，，，，主题厚度为1毫米。。 。。。英特尔的新技术不仅仅停顿在玻璃基板的层面 ，，，，，，，，还引入了FoverosDirect（一种拥有直接铜对铜键合职能的高级封装技术） ，，，，，，，，为CPO（Co-packagedOptics ，，，，，，，，可共同封装光学元件技术）通过玻璃基板设计利用光学传输的方式增长信号 ，，，，，，，，并结合康宁通过CPO工艺集成电光玻璃基板索求400G及以上的集成光学解决规划。。 。。。英特尔与设备资料合作同伴发展了亲昵合作 ，，，，，，，，与玻璃加工厂LPKF和德国玻唬唬唬�；；；�Schott共同致力于玻璃基板的产品化。。 。。。另表 ，，，，，，，，英特尔还带头组建了一个生态系统 ，，，，，，，，已经占有大无数重要的EDA和IP供给商、云服务提供商和IC设计服务提供商。。 。。。
英特尔以为玻璃基板有望成为下一代主流的基板材质。。 。。。凭据ANANDTECH引用的Intel展示PPT ，，，，，，，，复盘芯片基板的发展汗青 ，，，，，，，，自1970年引线框架大规模使用于芯片封装后 ，，，，，，，，英特尔以为半导体行业主流的基板技术将会每15年扭转一次 ，，，，，，，，将来行业将会迎来玻璃基板的转变 ，，，，，，，，而从有机板到玻璃基板的这个转变将在近10年产生 ，，，，，，，，同时英特尔也以为玻璃基板的出现并不会顿时齐全取代有机板 ，，，，，，，，而是会在将来一段功夫内和有机板共存。。 。。。
玻璃基板、CPO工艺有望成为混合键合以来的下一代先进封装工艺。。 。。。凭据ANANDTECH引用的Intel展示PPT ，，，，，，，，英特尔以为基于玻璃基板、CPO将是先进封装下一代主流技术。。 。。。相迸仔机板和硅 ，，，，，，，，玻璃基板的机能和密度均有提高 ，，，，，，，，能够允许在更幼的占用面积下封装更多的Chiplets ，，，，，，，，以此带来更低的整体成本的功耗 ，，，，，，，，让将来数据中心和AI产品得到大幅改进。。 。。。凭据将来半导体 ，，，，，，，，英特尔研发的CPO也能够通过玻璃基板进行设计 ，，，，，，，，从而实现利用光学传输的方式来增长信号 ，，，，，，，，提高功率的同时降低成本。。 。。。
（二）玻璃基板：资料与工艺的刷新
玻璃基板重要用来取代原先的硅/有机物基板和中介层 ，，，，，，，，可利用于面板、IC等泛半导体领域。。 。。。在目前的2.5D封装中 ，，，，，，，，以较为主流的台积电的CoWoS封装为例 ，，，，，，，，是先将半导体芯片（CPU、GPU、存储器等）通过ChiponWafer（CoW）的封装造程一路衔接至中介层（Interposer）上 ，，，，，，，，再通过WaferonSubstrate（WoS）的封装造程将硅中介层衔接至底层基板上；；；；；；；其中 ，，，，，，，，中介层（interposer）通常选用硅（COWOS-S）、有机物（COWOS-R）或者是硅和有机物的结合（COWOS-L）。。 。。。
玻璃材质的引入能够取代原先的硅中介层和有机基板。。 。。。玻璃基板直接利用玻璃中介层（GlassInterposer）实现芯片之间、芯片与表部的互联 ，，，，，，，，利用玻璃材质成本低、电学机能好、翘曲低蹬着点来克服有机物材质和硅材质的缺点 ，，，，，，，，来实现更不变、更高效的衔接以及降低出产成本 ，，，，，，，，有望为2.5D/3D封装带来全新的范式扭转。。 。。。
玻璃基板的3D封装方面 ，，，，，，，，TGV及其有关的RDL将成为关键工艺。。 。。。目前的3D封装中 ，，，，，，，，以HBM工艺为例 ，，，，，，，，其中的关键技术蕴含TSV（Through-SiliconVias）、微凸点（Microbumps）、TCB键合（Thermo-CompressionBonding ，，，，，，，，热压键合）、混合键合（hybridbonding）等；；；；；；；对于玻璃基板的3D封装 ，，，，，，，，TGV（ThroughGlassVia ，，，，，，，，玻璃通孔）、铜孔的填充及其RDL将成为关键工艺。。 。。。
玻璃基板优势显著。。 。。。凭据《玻璃通孔技术钻研进展》（陈力等） ，，，，，，，，玻璃基板的优势重要体此刻：
（1）低成本：受益于大尺寸超薄面板玻璃易于获取 ，，，，，，，，以及不必要沉积绝缘层 ，，，，，，，，玻璃转接板的造作成本约莫只有硅基转接板的1/8；；；；；；；
（2）良好的高频电学个性：玻璃资料是一种绝缘体资料 ，，，，，，，，介电常数只有硅资料的1/3左右 ，，，，，，，，损耗因子比硅资料低2~3个数量级 ，，，，，，，，使得衬底损耗和寄生效应大大减幼 ，，，，，，，，能够有效提高传输信号的齐全性；；；；；；；
（3）大尺寸超薄玻璃衬底易于获取�。 。。。嚎的⑿裣踝右约靶ぬ氐炔ＡС棠芄涣坎蟪叽纾ù笥�2m×2m）和超薄�。 。。。ㄓ子�50μm）的面板玻璃以及超薄柔性玻璃资料；；；；；；；
（4）工艺流程单一：不必要在衬底表表及TGV内壁沉积绝缘层 ，，，，，，，，且超薄转接板不必要二次减薄�。 。。。唬唬唬�；；；
（5）机械不变性强：当转接板厚度幼于100μm时 ，，，，，，，，翘曲依然较幼�。 。。。唬唬唬�；；；
（6）利用领域宽泛：除了在高频领域有优良利用远景之表 ，，，，，，，，通明、气密性好、耐侵蚀等机能利益使玻璃通孔在光电系统集成领域、MEMS封装领域有巨大的利用远景。。 。。。
起源：惠投研报
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